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电子级气体控制气柜,BSGS气体分配系统
电子级气体控制气柜,BSGS气体分配系统
纯度≥99.999%
电子级气体控制气柜,用于储存气体的装置,同时也用于平衡气体需用量的不均匀性的一种容器设备,可以分为低压气柜和高压气柜两大类。
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