不燃,无色无味无臭的气体,液化后呈无色透明。化肥、氨、硝酸等化合物的制造,隋性保得介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的处延、扩散、化学气相淀积、离子干刻、光刻等,还用作标准气、校正气、平衡气等。